EDS2 EPMA와 EDS의 차이점 EPMA (Electron Probe Micro-Analysis)와 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)는 모두 물질 분석 기술 중 하나이며, 전자현미경 기반 분석 기술입니다. 두 기술은 X-선 방출 스펙트럼을 이용하여 원소 분석을 수행하지만, 각각의 기술은 샘플의 성격, 분석 목적 등에 따라 차이가 있습니다. EPMA는 전자 전자빔을 이용하여 시료를 여기시키고 시료에 존재하는 원소에서 특성 X선을 방출합니다. 방출된 특성 X선은 검출기에 의해 수집되어 에너지와 강도를 측정합니다. X선의 에너지와 강도를 분석하여 시료의 원소 조성을 결정할 수 있습니다. 이에 따라 EPMA는 광범위한 원소 분석이 가능하며, 원소 함량 분석에서 높은 정확도를 보이며, 미량 원소의 검출.. 2023. 2. 18. EDS (Energy dispersive spectroscopy) 시료에서부터 방출되는 특성X선(Characteristic X-ray)의 에너지를 이용하여 원소를 특정한다. 특성X선이 생기는 원리와 각 원자를 특정하는 방법 아래 그림과 같이 가속된 전자가 원자책 주위의 전자를 산란시키게 되면 높은 에너지 레벨을 가지는 바깥 shell의 전자가 빠져나간 전자의 자리를 차지하기 위해 이동하게 된다. 이러한 다른 에너지 레벨 간의 이동에 의해 에너지 차이와 동등한 파장을 가지는 X선의 방출이 일어난다. 여기에서 각 원자의 에너지 레벨은 특정한 값을 가지기 때문에, 방출된 X-ray의 파장을 분석하게 되면, 물질을 구성하는 원자를 특정할 수 있게 된다. EDS에 의한 샘플 분석 과정 샘플을 전자 빔으로 조사 X선 방출 검출기가 각각의 X선을 전압으로 변환 검출기에서의 전기신호.. 2021. 9. 15. 이전 1 다음
