BSE3 2차 전자(Secondary electron, SE)의 의미와 BSE와의 차이점 2차 전자(Secondary electron)란? 2차 전자(Secondary electron)는 전자나 이온과 같은 고에너지 입자의 충격으로 인해 물질로부터 방출되는 전자입니다. 고에너지 입자가 물질의 표면에 부딪히면, 물질의 원자나 분자가 이온화될 수 있을 만큼 충분한 에너지를 전달하여 새로운 하전 입자(charged particle)를 생성할 수 있습니다. 이러한 하전 입자 중 일부는 2차 전자로 표면에서 방출될 수 있습니다. 2차 전자는 모든 물질에서 방출될 수 있지만, 방출되는 2차 전자의 수는 물질의 특성, 입사 입자의 에너지 및 입사 각도에 따라 달라집니다. 물질에 따라 2차 전자를 방출하는 정도의 차이가 생기고, 표면을 입자들이 충돌하는 각도에 따라서도 달라지게 됩니다. 2차 전자는 주사전.. 2023. 3. 25. 후방 산란 전자(Backscattered electron, BSE)의 의미와 원리 주사 전자 현미경(SEM)에서 전자(electron)는 샘플과 상호 작용하고 이미지를 생성하는 데 사용되는 신호를 생성합니다. 생성되는 신호 중 하나로 후방 산란 전자(Backscattered electron, BSE)가 있습니다. 후방 산란 전자(Backscattered electron, BSE)란? BSE는 SEM 빔의 고에너지 전자가 샘플의 원자와 상호 작용할 때 샘플의 후방으로 산란되는 전자입니다. 전자가 물질에 대해 수직에 가까운 방향으로 충돌하는 경우, 물질의 양의 핵에 이끌리지 않고 시료 밖으로 튀어나가게 됩니다. BSE의 에너지와 각도는 샘플의 원자 번호, 밀도 및 표면 지형에 따라 달라집니다. 원자 번호가 높은 물질은 원자 번호가 낮은 물질보다 BSE를 더 많이 생성하는 경향이 있습니다... 2023. 3. 24. Electron Backscatter Diffraction (EBSD) EBSD (Electron Backscatter Diffraction)이란? EBSD는 Electron Backscatter Diffraction의 약자입니다. EBSD는 반도체 또는 금속 물질의 결정 구조, 결정 방위를 해석하여 연구에 활용하는 실험 방법 중 하나입니다. EBSD는 전자를 샘플에 쏘아 특정한 각도에서 반사되는 전자 (후방 산란 전자)를 측정하여 결정 구조 및 결정 방위를 분석합니다. EBSD는 금속학, 재료공학, 지질학 등 다양한 분야에서 활용되며, SEM과 결합하여 사용됩니다. EBSD에서는 전자 빔을 분석하고자 하는 재료의 연마된 표면을 향해 입사하면, 전자는 재료의 결정 구조와 상호 작용하여 전자 회절 패턴으로 다시 산란됩니다. 키쿠치 패턴으로 불리는 한 쌍의 선들의 집합으로 이루.. 2023. 2. 25. 이전 1 다음
