Kikuchi pattern1 Electron Backscatter Diffraction (EBSD) EBSD (Electron Backscatter Diffraction)이란? EBSD는 Electron Backscatter Diffraction의 약자입니다. EBSD는 반도체 또는 금속 물질의 결정 구조, 결정 방위를 해석하여 연구에 활용하는 실험 방법 중 하나입니다. EBSD는 전자를 샘플에 쏘아 특정한 각도에서 반사되는 전자 (후방 산란 전자)를 측정하여 결정 구조 및 결정 방위를 분석합니다. EBSD는 금속학, 재료공학, 지질학 등 다양한 분야에서 활용되며, SEM과 결합하여 사용됩니다. EBSD에서는 전자 빔을 분석하고자 하는 재료의 연마된 표면을 향해 입사하면, 전자는 재료의 결정 구조와 상호 작용하여 전자 회절 패턴으로 다시 산란됩니다. 키쿠치 패턴으로 불리는 한 쌍의 선들의 집합으로 이루.. 2023. 2. 25. 이전 1 다음
