Energy Dispersive X-ray Spectroscopy1 EPMA와 EDS의 차이점 EPMA (Electron Probe Micro-Analysis)와 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)는 모두 물질 분석 기술 중 하나이며, 전자현미경 기반 분석 기술입니다. 두 기술은 X-선 방출 스펙트럼을 이용하여 원소 분석을 수행하지만, 각각의 기술은 샘플의 성격, 분석 목적 등에 따라 차이가 있습니다. EPMA는 전자 전자빔을 이용하여 시료를 여기시키고 시료에 존재하는 원소에서 특성 X선을 방출합니다. 방출된 특성 X선은 검출기에 의해 수집되어 에너지와 강도를 측정합니다. X선의 에너지와 강도를 분석하여 시료의 원소 조성을 결정할 수 있습니다. 이에 따라 EPMA는 광범위한 원소 분석이 가능하며, 원소 함량 분석에서 높은 정확도를 보이며, 미량 원소의 검출.. 2023. 2. 18. 이전 1 다음
